Конфокальные датчики  Производители, Продавцы, Поставщики

FRT является одним из ведущих мировых поставщиков 3D-метрологии для НИОКР и массового производства. FRT MicroProf® зарекомендовал себя на рынках полупроводников, передовой упаковки, МЭМС, VCSEL, автомобилестроения, машиностроения, оптики, светодиодов и медицины.
Ультрастабильная платформа третьего поколения и собственное программное обеспечение являются результатом более чем 25-летнего опыта. Мультисенсорная концепция FRT и гибридная технология измерения поддерживают производственные линии по всему миру. Приложения являются бесконтактными и полностью автоматическими. Измеряемые параметры: топография, высота ступеньки, шероховатость, TTV, кривизна, коробление, натяжение, толщина слоя и штабеля, наложение и CD - и многие другие.
Различные методы измерения можно комбинировать с датчиками точек, линий и площадей, а также с датчиками толщины слоя и атомно-силовыми микроскопами в одном измерительном устройстве и рецепте.
Удостоенные многих наград измерительные системы предоставляют (также полностью автоматически) информацию о топографии, структуре, высоте ступеньки, шероховатости, износе, толщине слоя и многих других параметрах, бесконтактно и неразрушающе.
В зависимости от области применения в одном измерительном устройстве могут быть объединены различные методы измерения с помощью точечных, линейных, площадных датчиков, датчиков толщины слоя, а также атомно-силовой микроскопии - диапазоны измерений могут простираться от метрового до субнанометрового диапазона.